這家國內碳化硅襯底龍頭廠商，正在殺入碳化硅設備細分領域。
9月10日，據“沈陽高新區”官微消息，天科合達近日摘得北方芯谷新建區第一塊工業用地，將投資5.2億元建設半導體設備產業化基地項目。
據悉，遼寧省集成電路裝備及零部件產業園即北方芯谷，位于沈陽市渾南區，總占地面積5.1平方公里，包括建成區五三片區和新建區張沙布片區，規劃建設集整機裝備、零部件、系統集成等于一體的產業集聚區。
而天科合達本次摘牌的地塊位于北方芯谷新建區，計劃建設碳化硅單晶生長爐、高溫CVD真空爐等裝備研發制造生產基地和半導體設備高溫零部件碳化物涂層等終端產品生產基地。項目預計明年初開工建設，年底前投入使用。
作為全球碳化硅襯底主要生產商之一，天科合達目前正在持續加碼碳化硅襯底產能。
今年2月，天科合達控股子公司深圳市重投天科半導體有限公司建設運營的碳化硅材料產業園項目在深圳市寶安區正式揭牌啟用，將重點布局6英寸碳化硅單晶襯底和外延生產線。
而在今年8月，北京市生態環境局公示了天科合達碳化硅襯底產業化基地建設二期項目（以下簡稱：二期項目）環評審批。二期項目用于擴大天科合達碳化硅晶體與晶片產能，同時建設研發中心以對生產工藝和參數持續進行優化和完善，投產后將實現年產約37.1萬片導電型碳化硅襯底，其中6英寸導電型碳化硅襯底23.6萬片，8英寸導電型碳化硅襯底13.5萬片。
隨著本次半導體設備產業化基地項目落地，天科合達業務結構中設備產品占比有望進一步提升。（集邦化合物半導體Zac整理）
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