日本FOX公司計劃2028年量產6英寸氧化鎵晶圓

作者 | 發布日期 2024 年 10 月 21 日 18:00 | 分類 產業

10月18日,據外媒消息,日本東北大學近日宣布成立FOX公司,該公司以低成本大規模生產β-氧化鎵(β-Ga2O3)晶片為目標。FOX采用了無貴金屬單晶生長技術,旨在以比碳化硅更低的成本生產出低缺陷程度與硅相當的β-氧化鎵襯底。

β-氧化鎵晶錠

source:東北大學

據悉,與碳化硅和氮化鎵相比,β-氧化鎵具有更寬的帶隙和更低的能量損耗,因此有望成為下一代功率半導體材料。此外,與硅一樣,β-氧化鎵也可以從原材料熔體中熔融生長,因此可一次生產出大量高質量單晶,理論上可以低成本、低缺陷地生產單晶襯底。

然而,在傳統的晶體生長方法中,盛放高熔點氧化物熔液的坩堝使用了貴金屬銥,并且需要定期進行重鑄。因此,銥相關的成本占了包括半導體前段工藝中的一部分薄膜制造成本的60%以上,這使得降低β-氧化鎵器件制造成本變得困難。目前,β-氧化鎵襯底比碳化硅更貴。而FOX正是為了應對這一挑戰而成立的。

FOX采用OCCC(冷容器氧化物晶體生長)方法,無需使用貴金屬坩堝,即可生產出β-氧化鎵塊狀單晶,其低缺陷程度可與硅媲美。

據介紹,FOX初期階段將集中于使用OCCC法開發半導體級大尺寸化技術,加速技術開發,力爭在2028年內確立6英寸晶圓的量產技術。此后,FOX將進一步擴建量產工廠,推進6英寸晶圓的驗證。

目前,除日本企業外,國內相關企業也在積極布局氧化鎵產業,并取得了一定進展。

其中,鎵仁半導體于今年7月成功制備出3英寸晶圓級(010)氧化鎵單晶襯底。

隨后在9月12日,據富加鎵業官微消息,其6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線于9月10日在杭州富陽開工建設。

同在9月,據“龍巖發布”官微消息,晶旭半導體二期——基于氧化鎵壓電薄膜新材料的高頻濾波器芯片生產項目于2023年12月開工建設。目前,項目主體已經全部封頂,預計年底之前具備設備模擬的條件。(集邦化合物半導體Zac整理)

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